ウエハー搬送ロボット予備
関連機器レンタル
- ロボット修理・保守作業期間中に代替機器レンタルサービスを提供いたします。
*在庫・お客様の機器設置状況によりご希望に添えない場合があります。 - 修理・保守作業期間中も高稼働率を維持します。
お問い合わせはこちらへ
◆◆ レンタル可能製品 ◆◆
| メーカー | 製品番号 | 仕様 | 画像 ｸﾘｯｸ:拡大 |
|---|---|---|---|
| AMAT | P5000用vacRobot MCﾛﾎﾞｯﾄ |
ｳｴﾊｰ搬送用2軸真空ﾛﾎﾞｯﾄ ﾜｲﾔｰ式駆動伝達 |
 |
| AMAT | P5000用vacRobot MCﾛﾎﾞｯﾄ |
2軸真空ﾛﾎﾞｯﾄ ｷﾞｱ式駆動伝達 |
 |
| ASYST (MECS) |
OFH-100 | 高速ｳｴﾊｰﾌﾟﾘｱﾗｲﾅｰ 8in・12inｳｴﾊｰ兼用 |
 |
| ASYST (MECS) |
OF-250 | ｳｴﾊｰﾌﾟﾘｱﾗｲﾅｰ 4～8inｳｴﾊｰ対応 |
 |
| ASYST (MECS) |
OF-250 ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ |
ｳｴﾊｰﾌﾟﾘｱﾗｲﾅｰ用 OF-250用ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 4～8inｳｴﾊｰ対応 |
 |
| ASYST (MECS) |
UTC-820 | ｳｴﾊｰ搬送用3軸大気ﾛﾎﾞｯﾄ 直動ﾘﾆｱ方式 円筒座標系3軸 Z軸ﾌﾞﾚｰｷ付 |
 |
| ASYST (MECS) |
UTC-100A | ｳｴﾊｰ搬送用3軸大気ﾛﾎﾞｯﾄUTC用ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ |  |
| ASYST (MECS) |
UTC-100HG | ｾﾙ液晶基板搬送用3軸大気ﾛﾎﾞｯﾄ 直動ﾘﾆｱ方式 円筒座標系3軸 |
 |
| ASYST (MECS) |
UTX-1100 | ｳｴﾊｰ搬送用3軸大気ﾛﾎﾞｯﾄ ﾘﾝｸｱｰﾑ方式 円筒座標系3軸 |
 |
| ASYST (MECS) |
UTX-1200 | ｳｴﾊｰ搬送用3軸大気ﾛﾎﾞｯﾄ ﾘﾝｸｱｰﾑ方式 円筒座標系3軸 |
 |
| ASYST (MECS) |
YA-400 | ｳｴﾊｰ搬送用ﾛﾎﾞｯﾄ走行軸 直動ﾘｰﾄﾞｽｸﾘｭｰ方式 |
 |
| BROOKS (PRI) |
ATM-105 | ｳｴﾊｰ搬送用3軸大気ﾛﾎﾞｯﾄ ﾘﾝｸｱｰﾑ方式 円筒座標系3軸 |
 |
| CANON | FPA用6型SCH | ｳｴﾊｰ/ﾚﾁｸﾙ搬送用ﾛﾎﾞｯﾄ FPA-3000ｼﾘｰｽﾞ用 |
 |
| GENMARK | GENCOBOT | ｳｴﾊｰ搬送用4軸大気ﾛﾎﾞｯﾄ 水平多関節多軸ﾛﾎﾞｯﾄ |
 |
| GENMARK | GENCOBOTｺﾝﾄﾛｰﾗ | ｳｴﾊｰ搬送用4軸大気ﾛﾎﾞｯﾄ用ｺﾝﾄﾛｰﾗ |  |
| RORZE | RR304 | 8inｳｴﾊｰ搬送用移載機 ｶｾｯﾄｽﾃｰｼﾞ2ﾎﾟｼﾞｼｮﾝｳｴﾊｰﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ機能付 |
 |
